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    產品名稱: 愛德華STPA1603C STPA2203C渦輪分子真空泵
    產品時間: 2019-04-21
    產品型號: STPA1603C STPA2203C
    產品特點: 小巧而強大的 Edwards STPA1603C 渦輪分子泵采用 Edwards 先進的轉子技術進行設計。它提供*的吞吐量、高的可靠性和的性能,滿足新一代半導體制程的需要。其半機架的控制器和緊湊型設計可節省可觀的空間,而其先進的沉積減少系統提高了可靠性和性能。愛德華STPA1603C STPA2203C渦輪分子真空泵

    愛德華STPA1603C STPA2203C渦輪分子真空泵 的詳細介紹

    英國愛德華渦輪分子真空泵STPA1603C ISO200F 進氣口

    概述

    小巧而強大的 Edwards STPA1603C 渦輪分子泵采用 Edwards 先進的轉子技術進行設計。它提供*的吞吐量、高的可靠性和的性能,滿足新一代半導體制程的需要。其半機架的控制器和緊湊型設計可節省可觀的空間,而其先進的沉積減少系統提高了可靠性和性能。STPA1603C 已經在的 200 mm 刻蝕工具上得到了證明,也能夠滿足新一代 300 mm 氧化物腐蝕制程的需要。愛德華STPA1603C STPA2203C渦輪分子真空泵

    應用

    • 金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
    • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
    • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
    • 濺射
    • 離子注入源,射束線泵送端點站
    • MBE
    • 擴散
    • 光致抗蝕劑脫模
    • 晶體/晶膜生長
    • 晶片檢查
    • 負載鎖真空腔
    • 科學儀器:表面分析、質譜分析、電子顯微鏡
    • 高能物理:射束線、加速器
    • 放射線應用:融合系統、回旋愛德華STPA1603C STPA2203C渦輪分子真空泵

      功能和優勢

      先進的轉子設計  

    • 改進的性能

    • 更高的氣體吞吐量

    • 高度可靠

    • 免維護

    • 可用于嚴苛制程

    • 5 軸磁懸浮系統  

    • 無污染

    • 低振動

    • 防腐蝕  

    • 可用于嚴苛制程

    • 使用壽命延長

    • 緊湊型設計  

    • 占地面積小

    • 半機架控制器

    • 先進的控制器設計 

    • 自動調整

    • 自行診斷功能

    • 直流電機驅動

    • 無電池運行

      技術數據

      入口法蘭ISO200F
      出口KF40
      吹掃口KF16
      水冷卻接頭PT1/4
      抽速 
        N21600 ls-1
        H21200 ls-1
      壓縮比 
        N2>108
        H2>7 x 103
      加熱時的極限壓力10-7 Pa
      大允許前級壓力266 Pa
       (2 Torr)
      大氮氣吞吐量2500 sccm
      額定速度36500 rpm
      啟動時間7 分鐘
      固定位置任意
      水冷卻流量2 lmin-1
      溫度5-25 °C
      壓力0.3 MPa
      推薦的吹掃氣體流量20 sccm
      輸入電壓200 至 240 (± 10) V 交流
      功耗0.85 kVA
      泵重量35 kg
      控制器重量9 kg

     蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮江愛德華STPA2203C、STPA1603C 渦輪分子真空泵

    常州揚州泰州南通南京啟東海門如皋海門海安愛德華STPA2203C、STPA1603C 渦輪分子真空泵
    如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州愛德華STPA2203C、STPA1603C 渦輪分子真空泵

    紹興金華寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海愛德華STPA2203C、STPA1603C 渦輪分子真空泵

    廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶愛德華STPA2203C、STPA1603C 渦輪分子真空泵

    荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長春吉林愛德華STPA2203C、STPA1603C 渦輪分子真空泵

    濟南青島威海德州連云港昆明九江安慶愛德華STPA2203C、STPA1603C 渦輪分子真空泵

    一、進口真空泵維修:
    1、BOC EDWARDS(愛德華):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
    2、ALCATEL(阿爾卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
    3、LEYBOLD(萊寶):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
    4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
    5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
    6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
    7、BECKER(貝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
    8、RIETSCHLE(里其樂):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
    9、ULVAC(愛發科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
    10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
    11、IWATA(巖田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
    12、HANBELL(漢鐘)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

    二、進口真空泵配件銷售:
    1、類型:真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
    2、品牌:BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦里安)等。

    三、進口真空油銷售:
    品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。

     

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